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潔凈實(shí)驗(yàn)室的發(fā)展歷程

時(shí)間 : 2022-04-02 10:53:22 閱讀 : 144

現(xiàn)代無塵實(shí)驗(yàn)室是由美國物理學(xué)家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的。惠特菲爾德作為桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室的雇員,于1966年為無塵實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)了最初的設(shè)計(jì)方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前,早期的無塵實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常遇到顆粒和不可預(yù)測的氣流的問題。Whitfield設(shè)計(jì)的無塵實(shí)驗(yàn)室具有恒定的且經(jīng)過嚴(yán)格過濾的氣流來保持空間內(nèi)的潔凈。


硅谷的大部分集成電路制造設(shè)施由三家公司制造:MicroAire,PureAire和Key Plastics。他們制造了層流裝置,手套箱,潔凈實(shí)驗(yàn)室和空氣淋浴器,以及用于集成電路“濕法工藝”建造的化學(xué)罐和工作臺。這三家公司也是將特氟龍用于氣槍,化學(xué)泵,洗滌器,水槍和其他集成電路生產(chǎn)所需設(shè)備的先驅(qū)。William(Bill)C.McElroy Jr.曾擔(dān)任三家公司的工程經(jīng)理,制圖室主管,QA/QC和設(shè)計(jì)師,他的設(shè)計(jì)為當(dāng)時(shí)的技術(shù)增加了45項(xiàng)原始專利。


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